洁净室空气净化处理(初效、中效、高效空气过滤器)三级过滤:
洁净室各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效空气过滤器、中效空气过滤器、高效空气过滤器三级过滤。
注、100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。
净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，则不应利用回风。
净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。
空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：
1、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器
2、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；
3、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调节系统末端；
4、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；
5、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内；
6、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。
送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。
